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Laserstrukturieren |
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Strukturieren und Abtragen sind verfahrenstechnisch eng verwandt: Kurze Laserpulse mit sehr hohen Pulsleistungen erzeugen so hohe Energiedichten, dass das Material überwiegend direkt verdampft (sublimiert). Bei diesem Vorgang entsteht nur wenig Schmelze. Jeder Laserpuls erzeugt eine
kleine Vertiefung. Sie misst typischerweise einige 10 Mikrometer im Durchmesser und nur wenige Mikrometer in der Tiefe.
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|  | Strukturieren und Abtragen mit dem Festkörperlaser waren lange kaum bekannt. Erst seitdem das Stichwort Mikrobearbeitung in aller Munde ist, rücken die Verfahren mehr und mehr in den Mittelpunkt des Interesses. Denn beim Strukturieren und Abtragen werden Werkstücke in kleinen und kleinsten Dimensionen bearbeitet.
Strukturieren
bedeutet, regelmäßig angeordnete Geornetrien in Oberflächen zu erzeugen, die deren technische Eigenschaften gezielt verändern. Das einzelne Element einer solchen Struktur ist oft nur einige Mikrometer groß.
Laserabtragen
wird meist im Werkzeug- und Formenbau sowie in der Elektronik und Halbleitertechnik angewendet. Der Laser erzeugt zum Beispiel in Spritzgusswerkzeugen dreidimensionale, detailreiche Vertiefungen, deren Formen sich später beim Spritzgießen im Kunststoffteil abbilden. Der Laser kann aber auch dünne Schichten selektiv abtragen, etwa zum Trimmen von Widerständen oder zum Beschriften.
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Strukturieren
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