Bei diesem Verfahren verdampft der Laser das Material möglichst schmelzarm. Der Materialdampf erzeugt in der Schnittfuge einen hohen Druck, der die Schmelze nach oben und unten herausschleudert.
Das Prozessgas, Stickstoff, Argon oder Helium, schirmt die Schnittflächen lediglich von der Umgebung ab. Es sorgt dafür, dass die Schnittkanten oxidfrei bleiben. Aus diesem Grund genügt ein Gasdruck von 1 bis 3 bar.

Metall zu verdampfen erfordert mehr Energie als es zu schmelzen. Deshalb benötigt Sublimierschneiden hohe Laserleistungen und ist langsamer als andere Schneidverfahren. Dafür erzeugt es hochwertige Schnittkanten.

In der Blechbearbeitung wird das Verfahren kaum angewendet. Erst dort, wo die Schneidaufgaben besonders fein sind, wird es attraktiv. Dazu gehört beispielsweise das Schneiden von Stents in der Medizintechnik.

Zu den typischen Werkstoffen zählen

• Kunststofffolien und Textilien, die schon
  bei geringer Energie verdampfen, und
• Werkstoffe, die nicht schmelzen können,
  etwa Holz, Pappe, Schaumstoffe.