Strukturieren und Abtragen sind verfahrenstechnisch eng verwandt: Kurze Laserpulse mit sehr hohen Pulsleistungen erzeugen so hohe Energiedichten, dass das Material überwiegend direkt verdampft (sublimiert). Bei diesem Vorgang entsteht nur wenig Schmelze. Jeder Laserpuls erzeugt eine kleine Vertiefung. Sie misst typischerweise einige 10 Mikrometer im Durchmesser und nur wenige Mikrometer in der Tiefe.

Strukturieren
bedeutet, regelmäßig angeordnete Geometrien in Oberflächen zu erzeugen, die deren technische Eigenschaften gezielt verändern. Das einzelne Element einer solchen Struktur ist oft nur einige Mikrometer groß.

Abtragen
wird meist im Werkzeug- und Formenbau sowie in der Elektronik und Halbleitertechnik angewendet. Der Laser erzeugt zum Beispiel in Spritzgusswerkzeugen dreidimensionale, detailreiche Vertiefungen, deren Formen sich später beim Spritzgießen im Kunststoffteil abbilden. Der Laser kann aber auch dünne Schichten selektiv abtragen, etwa zum Trimmen von Widerständen oder zum Beschriften.

Bohren
Unterschied zwischen Perkussions-, Trepanier- und Helixbohren. Beim Perkussieren bleibt der Fokus des Lasers ortsfest. Wird durch mehrere Laserpulse ein Startloch gebohrt und bewegt sich der Fokus des Lasers anschließend kreisförmig in der Bohrung um diese zu erweitern, spricht man vom Trepanieren. Beim Helixbohren arbeiten sich viele Laserpulse kreisförmig - wie auf einer Wendeltreppe - in die Tiefe vor.